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Zygo白光干涉仪工作原理
- 2019-12-16-

zygo白光干涉仪是选用海外最优秀的白光干涉扫描仪技术性研发的纳米技术重量级晶相检测仪器,穿透高精密的扫描仪系统软件和独立专利权的分析计算方式,开展试品表层超微粒晶相的测量与深入分析。表层显微镜显像工作能力与高精密精确测量的极致融合,只需数秒左右,就能观察到表层的三维轮廊、台阶高度、表层纹路、外部经济规格及其包括各种主要参数的精确测量結果。
系统软件选用气浮筏减振控制模块、牢固的花岗石和钢架结构支撑点,具备优异的可靠性。精确测量全过程简单而迅速,只需把被测物块置放到载物台,聚焦点出干预花纹,按住精确测量按键就能刚开始全部精确测量全过程。
标准配备选用六轴手动式调节的载物服务平台,可根据不一样检测规定做延展性调节,并可选装电动式载物服务平台,以保持全自动精准定位、全自动聚焦点、全自动缝线之大规模高精密的量测规定,试品均不需前解决就能开展非毁坏、高精密、迅速的表层晶相精确测量和深入分析。 
☆ 电子光学灯光控制系统 选用卤素灯源、管理中心光波长为576nm、光谱仪范畴340nm—780nm
☆ 电子光学显像系统软件 选用無限远电子光学显像系统软件、由显微镜物镜和显像目镜构成 
☆ 竖直扫描仪系统软件 选用闭环控制反馈调节方法驱动器显微镜物镜竖直挪动、挪动范畴0-500μm、部位挪动精密度 0.1nm
☆ 信号分析系统软件 电子计算机和模拟信号协处理器构成、收集系列产品初始图象信息应用专用型模拟信号协处理器进行信息zygo白光干涉仪是运用电子光学干预基本原理新产品研发的超高精密表层轮廓测量仪器。照明灯具光线经半反半透分光镜分为两束光,各自投影到试品表层和参照镜表层。从2个表层反射面的两束光再度根据分光镜后生成一束光,并由显像系统软件在CCD照相机光感应面产生2个累加的像。因为两束光互相干预,在CCD照相机光感应面能观查到明暗交界线两色的干预花纹。干预花纹的色度在于两束光的光程差,依据白光干涉花纹明暗度及其干预条款出現的部位分析出被测试品的绝对高度。