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3D表面zygo轮廓仪应用
- 2019-12-16-

精确测量动态性MEMS机器设备 电子光学轮廓仪是明确MEMS机器设备表层特点的一 种十分有效的专用工具。传统上,电子光学轮廓仪被用于精确测量试品的表层特点。可是,在精确测量全过程中,所精确测量的试品需维持在静止不动的情况下,假如试品不平稳或是 处在健身运动情况则会造成图象错乱模糊不清、信息不详细或是内容丢失等状况。殊不知,针对MEMS机器设备,必须明确该机器设备处在健身运动情况时的晶相特点,掌握和明确 其在健身运动情况下的作用和特点对产品研发和生产制造质量管理尤为重要,做为产品质量检验,只能动态性精确测量才能够 真实仿真模拟MEMS具体运作情况,进而超过正确实作用监测。
优秀的3D电子光学zygo轮廓仪可以保持这一精确测量作用,应用NewView™7300和新的动态性精确测量控制模块DMM能够 产生一个动态性精确测量管理体系:一个闪频的LED灯源同歩于MEMS机器设备的开启数据信号,根据调节灯源的闪频頻率,其MEMS机器设备的健身运动被合理“静止不动”。保持电子光学zygo轮廓仪在 动态性机器设备上开展精确测量。
不论是生产加工全过程中的质量管理,還是试验室的科学研究,ZYGO配有DMM控制模块的NewView™7300对系统查验静态数据和动态性MEMS出示了必不可少的精确测量机器设备和全方位的解决方案。其最好的检测范围和精确测量速率,已变成动态性MEMS精确测量的理想化解决方法。
塑料薄膜深入分析运用 白光灯扫描仪干涉仪NewView™系列产品可以从试品表层反射面和参考反射面的相干光中产出率晶相高宽比信息。干预物镜在竖直方位上开展扫描仪,CCD纪录下干预花纹的演化。电子计算机根据深入分析花纹演化全过程中的抗压强度转变,就能精准明确试品晶相的高宽比。
以往,检测试品时,只能一个调配数据信号被查验到,但绝大多数的试品如半导体材料、MEMS、平面图显示器等,这种试品散射且能在试品的同一点上造成好几个调配数据信号,运用传统式的统计分析方法来解决这种数据信号有将会造成有误或找不到的信息。
为分离出来好几个调配数据信号,MetroPro®8.1.1(或更高級版本号)包括ZYGO专利权的塑料薄膜分析系统——TopSlice和FilmSlice能够 清除这种缺点并让客户得到以下結果:
• 独立精确测量塑料薄膜顶端表层晶相
• 独立精确测量塑料薄膜底端表层晶相
• 独立精确测量塑料薄膜薄厚、顶端表层晶相和底端表层晶相
NewView™7300系统软件选用一种加强型灯源,包含一个LED灯源和一个可变性的焦距来限制灯源的数值孔径。其焦距确保全部的物镜能够 用于精确测量塑料薄膜的第二个面和薄厚,5倍或是更低的物镜能够 精确测量电子光学薄厚1.5µm至75µm塑料薄膜的顶端面型特点和底端面型特点及其塑料薄膜薄厚,超过5倍的物镜能够 获得更精准测量,可是可精确测量的较大塑料薄膜薄厚伴随着物镜的变大倍率提升而减少。MetroPro®塑料薄膜深入分析控制模块另外出示顶端面型、第二面(一般称之为底端)面型和塑料薄膜薄厚的信息。
MetroPro®塑料薄膜深入分析运用融合ZYGO最出色的轮廓仪—NewView™7300—是现阶段对塑料薄膜面型和塑料薄膜薄厚定量分析和立即显示信息的更快且作用最健全的仪器设备。ZYGO专利权的TopSlice和FilmSlice计算方式让客户在塑料薄膜中对塑料薄膜薄厚的较大范畴和无法比拟的可重复性具备充裕的自信心。
精确测量次纳米技术表层晶相 大家都知道,白光灯电子光学轮廓仪能够 用于精确测量表层晶相。伴随着机械设备精密度和电子光学生产能力的提升,超光洁或是次纳米技术表层的生产加工愈来愈普及化,这种表层的量化分析已变成过程管理的重要。
NewView™7000系列产品电子光学轮廓仪应用扫描仪白光干涉技术性配置MetroPro®手机软件和专利权的FDA深入分析技术性促使表层晶相的精确测量可以超过次纳米技术重量级。假如非常好的控制测量自然环境,挑选适合精确测量主要参数及其靠谱的仪器校正,则表层粗糙度测量能够 超过皮米重量级(1×10-12)。
在对超光洁表层开展定量分析检测时,最先要清晰每一个检测系统均存有其具有本底噪音。这种噪音来源于电子器件噪音、信号接收器噪音、参照镜表层的细微不整平及其精确测量自然环境造成的细微震动等。对大部分试品,NewView系统软件的精确测量噪音大部分能够 忽视,由于所精确测量的結果远高于本底噪音。但针对十分光洁的表层,本底噪音就得多方面考虑到,对这种试品的精确测量就必须清晰了解噪音的来源于并多方面非常好的操纵。
精确测量超光洁表层必须对精确测量自然环境非常好的操纵,理想化的精确测量自然环境是:
• 机械设备和声波频率震动的降到最低
• 在精确测量時间内严控溫度的转变,使试品,物镜溫度转变最 小化
• 严控物镜和试品中间的气旋,使气旋对精确测量危害降到最低
很多噪音源能够 根据下列的方式来清除或降低,一是非常好操纵测试环境如声波频率、气旋、溫度以及转变等;二是开展数次精确测量并将精确测量結果多方面均值进而得到非常好的精确测量結果。
根据所述叙述的方式和精确测量全过程,能够 证实ZYGO有工作能力精确测量表面粗糙度低于0.05nm的光洁表层,非常好地操纵自然环境并挑选适合的內部精密度及其根据优化系统涵数的位相均值频次,就能让电子光学轮廓仪精确测量高品质的表层晶相。因而,NewView™7300的高取样速率和高像素促使超光洁表层晶相精确测量越来越易如反掌。
机械加工制造中的运用 传统式的机械零件因为受生产设备的限定,对精密度包含平整度,表面粗糙度的规定基本下滞留在μm重量级。但伴随着技术性发展趋势,大家对机械零件的生产加工精密度规定刚开始向纳米技术重量级迈入,机器设备生产加工精密度的提升推动无损检测技术的发展趋势,传统式的监测方式包含容栅和2D方法的监测方式对监测纳米技术重量级精密度的机械零件有挺大的局限。
电子光学轮廓仪最开始运用在电子光学生产加工制造行业时,其3D、髙速、高精密、靠谱和平稳,刚开始造成生产加工人员的留意并刚开始运用。ZYGO电子光学轮廓仪已在发动机喷油嘴、半导体材料激光切割数控刀片、外固定支架生产制造、量块校准等层面有很多的运用。ZYGO的MetroPro®分 析手机软件中的一些特殊作用如平整度、表面粗糙度、平行度和高宽比差等在机械加工制造监测中展现更新的运用。