zygo白光干涉仪的特征与维护

       干涉分析仪器是用来分析光线在两个不同的表面上反射后产生的干涉条纹。它的基本原理是由不同的光学元件构成参考光路和检测光路。

一、运作方式

干涉法是一种用干涉原理测量光程差异并测定有关物理量的光学仪器。如果两个相干光之间的光程差异发生变化，就会非常敏感地引起干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由于它穿过的几何距离或介质折射率的变化而引起的，因此，通过改变干涉条纹的运动，就可以测出与此相关的其它物理量。光程差的测量精度是决定光程差测量精度的关键因素之一，干涉条纹每移动一条条纹的间隔就会改变一个波长(~10-7米)，因此干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度是其它测量方法无法比拟的。

二、特征：

1、非接触测量：避免损坏物体。

2、三维表面测量：表面高度的测量范围为1nm-200μm。

3、多视场镜头：方便物镜快速切换。

4、纳米级的分辨率：垂直分辨率可达到0.1nm。

5、高速数字信号处理器：只需几秒钟就可以完成测量。

6、扫描器：闭环控制系统。

7、工作台：气动装置，抗震，抗压力。

8、测量软件：基于Windows操作系统的用户界面，操作简单快捷。

三、维护。

1、仪器应妥善放置在干燥、洁净的房间内，防止震动，仪器移动时应将底座托住，以防导轨变形。

2、光学零件不用时，应存放在干净的干燥盆内，以防发霉。反射镜、分光镜一般不允许擦洗，需要擦拭的时候，要先用备件毛刷仔细掸去灰尘，再用脱脂清洁棉球滴上酒精和乙醚混合液轻擦。

3、传动部件应有良好的润滑。尤其是导轨、丝杆、螺母及轴孔部分，采用T5精密仪表油润滑。

4、使用时，各调节部位要用力适度，不能强旋、硬拉。

5、导轨上的丝杆应防止刮痕、生锈，使用完毕后，仍不失油。

6、仪器部件经精密调整后，应涂上红漆，不得随意转动。