NEXIV VMR-3020系列

CNC视频图象坐标测量仪

NEXIV VMR-3020系列

拥有300 x 200 x 150mm量程的全自动非接触式三维坐标测量系统。它测量速度快、精度高，擅长测取接触式量仪所无法测量的各种零部件尺寸，尤其适用于工件的批量检测以及生产工序的质量分析控制。 8方向程控LED 环形照明系统、自动影象对焦以及具有扫描功能的激光自动对焦装置均为标准配置。15倍变焦比的5段程控变焦镜组，可以在各段（倍率）间进行自由切换，以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。

1、2、3 型

多种多样的照明手段，使各种零部件的边界都能清晰地显示，确保工件边界可被自动检出；

3 个型号（1、2、3 型）各自有 5 级放大倍率，可满足不同视场及倍率要求；

较长的工作距离（50 毫米），可满足测量对工件高度方向的空间需求；

高达15 倍的变焦比，可以满足低倍大视场观察搜索和高倍精密测量两方面的需求。与无级变焦机构相比，采用5段、定倍自动变焦机构可以使测量更加快速、准确；

高速、高精度 TTL 激光自动对焦功能，不仅可以测量高度，还可以进行激光自动扫描，对工件的截面形状以及三维表面轮廓形状进行自动扫描测量。

应用领域：
半导体封装、印刷电路板、冲压件、连接器、注塑件及各种小零件，如钟表元件等。

连接器管脚

PGA针脚

小模数塑料齿轮

Z120X 型（带高倍头）

光学放大倍数可达120X，能够测量微距线宽；

高精度 TTL 激光自动对焦装置，具有激光光束细、光斑小的特点，支持精细激光扫描测量；

特别适合经过精细加工的小型精密零件的测量；

可选配表面形貌分析软件（Bird's-Eye View），用来显示 MEMS 部件的三维表面形貌。

应用领域：
高密度印刷电路板、掩模板、半导体封装（二维＋高度）、MEMS部件等。

CCD

锡球

焊接引线激光扫描

焊接引线截面分析

LU 型（通用反射照明器 / 电动物镜转换器）

光学头采用尼康的CFI60光学系统，可以使用尼康 CFI60 LU 全系列显微物镜；

具有明场、暗场、DIC、简易偏光等显微观察方式；

配备电动通用五孔物镜转换器；

可装备带有玻片厚度修正功能的、专门用于液晶板观测的尼康CF IC LCD Plan CR系列物镜；

易于使用的软件，可控制系统所有功能。

应用领域：
小型液晶显示器，有机EL面板，直径在200毫米以内的硅片等。

IC