1.zygo白光干涉仪环不圆。

原因：

(1)倒转分光膜。

二是两组出射光瞳不正。

(3)分光板、补偿板、活动镜和参考镜具有压应力。

维护方法：分光板膜层应为入射光的第二面，如安装在一面，调出的等倾干圆涉环为直椭圆形干涉环，可旋松分光板的三个宽头螺钉，取出分光板，将三个宽头螺钉旋至原来的压力。请参考分光板的故障维护方法。补偿板宽头螺钉、移动镜和参考镜的调节滚花螺钉压力过大，使各镜片逐渐变形产生等倾干涉环不规则，适当松开过紧螺钉即可消除。

2.zygo白光干涉仪空间大于0.03毫米。

原因：

(1)传动螺母与螺杆的配合间隙较大。

(2)拖板体下的顶块间隙较大。

三、zygo白光干涉仪档板与导轨配合过松。

维护方法：首先可调整顶块间隙，使拖板体内的旋松块螺钉处于工作状态，左手拇指将拖板体轻推至读数头方向，中指按压顶块，然后固定。如果还没有达到要求，调整档板和导轨之间的间隙可达0.02mm，然后调整传动螺母上的两个螺钉(旧产品有四个)。

转动粗手轮时，请勿移动拖板。

原因：

(1)仪器受到强烈冲击后，螺杆从尾架上脱落，导致读数头啮合齿轮错位。

(2)传动小齿轮的紧固螺母松动，导致传动小齿轮与螺摩擦。

(3)松开大齿轮和粗动轮的压紧螺母。

维护方法:首先检查粗动轮压紧螺母，然后检查精密螺钉是否向尾架方向脱落。如果已经脱落，可以松开尾架的三个螺钉，将螺钉推入读数头，然后慢慢拧紧三个螺钉。如果是小齿轮固定螺母，将螺钉推入读数头，然后慢慢拧紧螺母，再拧紧尾架的三个螺钉。如果是小齿轮固定螺母，应先拆下螺母。